ذخیرهسازی با چگالی بالا، استفاده از فضای زیاد، استفاده کامل از فضای ارتفاع

آزمون آموزشی خودکار در سطح مطالب

اجرای سریع

استفاده زیاد از فضا

مهندسی کارخانههای نیمههادی


معرفی برنامه
ذخیرهسازی و مدیریت خودکار مواد در تولید نیمههادی
قابل اجرا برای:
1. ذخیره سازی با چگالی بالا، استفاده از فضای زیاد، استفاده کامل از فضای ارتفاع
۲. ضرب سریع
۳. یکپارچه با سیستم مدیریت مواد کارگاهی
۴. اجرای سریع، آزمون خودکار سطح آموزش
5. سازگار با ARV/OHT/OHS/دستی و سایر فرآیندهای خودکار
6. مطابق با استانداردهای Cleanroom ISO14644-14، SEMI S2 Standard و ESD

معرفی تابع
* برای ذخیرهسازی آنلاین نیمههادی، پشتیبانی از FOUP، CASSETTE، Magazine، Tray و موارد دیگر استفاده میشود.
* میتواند با ARV متصل شود، از بارگیری و تخلیه دستی پشتیبانی میکند
*مطابق با استانداردهای Cleanroom ISO14644-14، SEMI S2 Standard و ESD
* رابط نرمافزاری استاندارد SEMI
* طراحی ماژولار




بلوک 4. No.358 Jinhu Road, Pudong District, Shanghai, China